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簡要描述:Logosol 邊緣與預(yù)對準(zhǔn)器 巡邊臺 光學(xué)儀器聯(lián)系張經(jīng)理:I872I868549
PRODUCT我們相信好的產(chǎn)品是信譽的保證!
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,制藥/生物制藥,綜合 |
Logosol 邊緣與預(yù)對準(zhǔn)器 巡邊臺 光學(xué)儀器
聯(lián)系張經(jīng)理:I872I868549
Logosol經(jīng)久考驗的技術(shù)和高可靠性的標(biāo)準(zhǔn)是其廣泛系列預(yù)對準(zhǔn)器的基礎(chǔ)。Prealigners產(chǎn)品家族支持處理45mm至480mm范圍內(nèi)的物體,無論其透明度從不透明到透明。Logosol獨特的集成設(shè)計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺實現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。
LOGOSOL預(yù)對準(zhǔn)器按應(yīng)用場景分為三大系列:
技術(shù)特點:
被動邊緣接觸技術(shù),零機(jī)械應(yīng)力,避免晶圓損傷。
支持透明度從不透明到全透明的晶圓1。
適用尺寸:75mm–300mm晶圓。
典型型號:LPA6EH-3, LPA8EH-3, LPA68EH-3, LPA8ET-3, LPA12ET-3, LPA812EH-3。
應(yīng)用場景:碳化硅/氮化鎵晶圓制造、高潔凈度要求的化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線。
技術(shù)特點:
單機(jī)處理方形、雙層基板及圓形晶圓,支持45mm–480mm超大尺寸范圍。
無需機(jī)械重定位,通過軟件切換尺寸,提升柔性生產(chǎn)效率。
LOGOSOL典型型號:LPA26-3, LPA38-3, LPA58-3, LPA312-3, LPA812-3, LPA1218-3。
應(yīng)用場景:研發(fā)實驗室、多尺寸晶圓試產(chǎn)線、光伏基板定位。
Logosol 邊緣與預(yù)對準(zhǔn)器 巡邊臺 光學(xué)儀器
技術(shù)特點:
專為高速晶圓傳輸系統(tǒng)優(yōu)化,低成本集成中心計算與角度定位功能。
提供高精度選件及定制夾具尺寸,兼容主流工業(yè)機(jī)器人。
LOGOSOL典型型號:LPA25-1E, LPA38-1E, LPA58-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E。
應(yīng)用場景:半導(dǎo)體量測設(shè)備(如日立CD-SEM)、自動化晶圓搬運系統(tǒng)改造
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